SIC高温氧化炉-氧化扩散炉-科研电炉晨立电子

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发布时间：

2024/5/18 16:55:00

SIC高温氧化炉-氧化扩散炉-科研电炉晨立电子详细说明

扩散炉系列设备用途：用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。

主要技术指标：

★ 炉管数： 1～4管

★ 配工艺管口径：Φ90～360 mm (3～12英寸)

★ 恒温区长度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃) 760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)

★ 单点稳定性： ±1.0℃/24h (300～800℃) ±0.5℃/24h (800～1280℃)

★ 气源路数： ≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器

★ 气体控制：浮子/质量流量计

★ 悬臂舟参数：速度： 20～1000 mm/min ~大行程：2000 mm 定位精度：±1 mm ~大载荷：17 Kg

★ 超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）噪音： ≤62dB（A）振动： ≤3μm
本产品网址：http://www.vooec.com/sjshow_507802902/
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产品名称：SIC高温氧化炉-氧化扩散炉-科研电炉晨立电子

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