5822i离子风机的精巧设计是配合高端自动化制程设备内紧密的空间条件,和严格的静电防控要求,尤其适用于硬盘制造和半导体后段封测工业。它能维持<±3 V 的离子平衡,又可接连外置回馈系统以达至<±1 V 的 效能。内置的离子平衡自动修正系统,能确保目标对象在控制中,减少维修次数和降低操作成本。配置的气流定向器,无须更多的空间,也能把平衡的离子直接吹到目标。
特点 ±3 V 或更好的离子平衡 (配合选配的外接回馈系统能达至±1 V) 设备监控接口和声响报警 外置控制盒 符合洁净度 ISO 14644-1 Class 4
选配的回馈系统 5822i离子风机的选配外接感应器,可接连Novx Process Monitor 7000系列,Novx 被动检测系统3352系列,和Novx主动检测系统3362系列,作出检测和自动调整离子平衡。把天线放到目标位置,信号会回馈到 5822i 的控制线路,以达至和维持离子平衡在±1 V 或更好的效能。