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供应扩散炉
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发布时间:
2024/2/5 13:41:00 |
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电 话: |
86-0532-88533525 |
传 真: |
86-0532-67720618 |
手 机: |
13869885308 |
邮 编: |
266200 |
地 址: |
青岛即墨市马山东路陈家河工业园 |
网 址: |
http://chenlidianzi.cn.vooec.com |
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公司名称:青岛晨立电子有限公司 |
联 系 人:姜经理 先生 经理 |
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设备用途:用于大规模集成电路、电力电子、光 电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。 设备特点:单元组合方式。根据工艺的不同,可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。 主要技术指标: ★ 炉管数:1~4管 ★ 配工艺管口径:Φ90~360 mm (3~12英寸) ★ 恒温区长度: 760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃) 760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃) ★ 单点稳定性: ±1.0℃/24h (300~800℃) ±0.5℃/24h (800~1280℃) ★ 气源路数: ≤7路,可配恒温源瓶、氢氧合成点火器 ★ 气体控制: 浮子/质量流量计 ★ 悬臂舟参数: 速度: 20~1000 mm/min 最大行程:2000 mm 定位精度:±1 mm 最大载荷:17 Kg ★ 超净工作台: 净化等级:100级(万级厂房) 噪音: ≤62dB(A) 振动: ≤3μm 晨立6"最新扩散炉设备新鲜出炉,技术和质量已达国际水平,受到半导体设备制造企业和半导体行业高度关注.可完全替代国外同规格高端产品满足不同工艺的要求.
本产品网址:http://www.vooec.com/cpshow_4270790/ 手机版网址:http://m.vooec.com/product_4270790.html 产品名称:供应扩散炉 |
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